真空科学与技术学报期刊
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
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总被引数(次)
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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  • 作者: 孙伟 孙立臣 邵容平 闫荣鑫
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  1-5
    摘要: 研究气体间漏率的等效关系,对提高检漏数据判读的准确性具有重要意义.本文基于对金属压扁型漏孔的研究,通过建立分析模型,运用直接模拟蒙特卡罗法数值模拟方法得出了气态工质的漏率曲线及不同工质间漏率...
  • 作者: 张晋畅 沈兴全 郭婷婷 陈振亚
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  6-10
    摘要: 探讨和比较了现有密封结构各自性能和在输油器上的应用.基于磁流变液密封设计输油器,利用有限元仿真分析磁场强度分布及其对磁流体密封性的影响;依据理想气体状态方程探讨压力变化和泄漏量的关系,并用真...
  • 作者: 刘振春 孙立志 孙立臣 张广慧 李征 柴建国 洪晓鹏 王勇 王莉娜 贾瑞金 赵月帅
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  11-15
    摘要: 充气密封圈是实现检漏收集室密封的关键,研究其密封性的设计具有重要的工程意义.旧检漏收集室采用的无棱充气密封圈的密封效果不佳,且密封可靠性也较差,因此,针对某收集室的新建要求,有必要对充气密封...
  • 作者: 崔敬忠 张涤新 成大鹏 陈江 马寅光
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  16-19
    摘要: 密封铯束管是铯原子钟的物理部分,也是一种电真空器件.但是有关铯束管的真空设计方法在文献中很少讨论.本文提出了一种设计方法,该方法基于物理及使用要求.首先根据铯原子束流强度与铯束管内压强关系,...
  • 作者: 范浩 解光春 邢献军 马培勇
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  20-26
    摘要: 探究胡萝卜真空干燥过程中系统压力和温度对胡萝卜干燥特性的影响.结果表明:在同一系统压力下,温度越高,干燥速率越快;在同一干燥温度下,系统压力越小,干燥速率越快.通过应用Fick扩散定律描述胡...
  • 作者: 何源 修显武 孙阳 滕树云 王书运 王森
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  27-32
    摘要: 在室温条件下,利用磁控溅射法在玻璃衬底上制备了NiO/Ag/NiO透明导电膜,研究了不同NiO层和Ag层厚度对三层膜可见光透过率和电阻特性的影响.结果分析表明:制备的NiO/Ag/NiO为N...
  • 作者: 周珂 林晶 王新华 董静 钱锋
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  33-37
    摘要: 利用电子束蒸发镀膜方法在PAMM上制备了金属铟薄膜,通过方块电阻测量和原子力显微镜(AFM)表面形貌的分析,结果表明:铟薄膜的电阻值随着薄膜生长厚度增加而减小;薄膜生长初始阶段基体表面形成了...
  • 作者: 冯彤 岳松 张兆传 王韦龙 高冬平
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  38-42
    摘要: 针对现有大功率连续波注入锁频磁控管的输出结构插入损耗大,功率容量低的局限,本文提出了一种S波段大功率锤状能量输出器,并给出了其设计原理.利用CST微波工作室对该结构进行仿真验证,并将其与传统...
  • 作者: 刘国超 周俨 张磊 董承远 解海艇
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  43-47
    摘要: 采用磁控溅射方法,在聚酰亚胺薄膜上室温制备了非晶铟镓锌氧(a-IGZO)柔性薄膜晶体管(TFT).其中,栅绝缘层选择了不同厚度比例的氧化硅(SiOx)与氧化坦(TaOx)薄膜的搭配,对比研究...
  • 作者: 周寰林 朱康伟 李芳芳 罗文华 胡殷 龙重
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  48-52
    摘要: 为了增强钽表面的高温抗氧化、抗腐蚀性能,使用基于空心阴极效应的离子渗碳法,以氩气和甲烷作为渗碳气体对钽片表面进行渗碳实验,利用X射线衍射、扫描电镜、俄歇电子能谱分别对改性层进行成分、形貌及元...
  • 作者: 薛茂权
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  53-58
    摘要: 将无压烧结制备的Cr2 AlC加入到HF中,通过溶剂热法成功制备出了AlF3纳米棒.分别使用X射线衍射仪、扫描电镜和透射电镜对该纳米棒进行结构表征和分析,发现AlF3纳米棒尺寸在直径100~...
  • 作者: 何丽娟 孙尚志 潘鹏 黄艳伟
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  59-64
    摘要: 以Fluent数值模拟为基础,理想二氧化碳气体为工质,采用5因素5水平的正交分析法,模拟研究了各结构参数对涡流管制冷性能的影响.结果发现:当冷流比为0.4时,热端管径为4.32 mm、喷嘴流...
  • 作者: 孟东容 渠聚鑫 王德文
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  65-70
    摘要: 为了研究碳/碳(C/C)复合材料在再入弹头上的应用性能,以某型弹头的设计战标为研究背景,根据朗金—雨贡纽(Rankine-Hugoniot)关系式和再入飞行的相似性原理,对C/C复合材料进行...
  • 作者: 李晓敏 王立军
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  71-74
    摘要: 为提高散热器的散热效率,在分析散热器散热特性的基础上并结合热特性方程进行热传递模拟分析.通过对散热片数量不同的散热器的分析,得出了散热器面积与室内温度的关系.通过对空间内不同截面温度的分析,...
  • 作者: 但敏 李凌群 李建 王建豹 金凡亚 陈晓军
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  75-79
    摘要: 采用离子注入方式对Li4 SiO4陶瓷进行了25,35,45,55 keV四种不同能量的氘离子辐照,利用高温热解吸系统模拟研究了其中的氘释放行为.实验结果表明,D+辐照Li4 SiO4陶瓷离...
  • 作者: 向阳 周琦 孔见 彭勇 朱军 王克鸿 薛忠明 郭顺
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  81-86
    摘要: 研究采用真空电子束实现对2195铝锂合金和TC4钛合金的有效连接.通过金相显微镜、扫描电镜、能量色散谱、X射线衍射等技术,分析了焊接接头的微观组织及成分特征,并通过拉伸试验对接头进行了力学性...
  • 作者: 刘家琴 史英迪 吴玉程 宋艳斌 崔接武 张勇 汤凯 王岩 秦永强 舒霞 郑红梅
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  87-93
    摘要: 采用溶剂热法在氟掺杂的锡氧化物导电玻璃衬底上成功合成制备了长度为400~2000 nm,从基底(80 nm)到尖端(30 nm)锥状塔式WO3纳米线薄膜,进而通过电化学沉积法在WO3纳米线表...
  • 作者: 刘万东 史善爽 宋云涛 张平 徐皓 李弘 杨庆喜
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  94-101
    摘要: 在磁约束核聚变装置中,真空室是一个非常重要的关键部件,它为高温等离子体提供洁净运行环境.KTX装置是一种反场箍缩核聚变装置,它有别于托卡马克装置和仿星器核聚变装置.目前核聚变装置上使用的真空...
  • 作者: 刘家琴 史英迪 吴玉程 宋艳斌 崔接武 张勇 汤凯 王岩 秦永强 舒霞 陈传胜
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  102-108
    摘要: 本文成功地将聚(3,4乙烯二氧噻吩)(PEDOT)纳米颗粒修饰在氧化石墨烯(GO)纳米片表面,获得了PEDOT/GO杂化纳米结构.采用场发射扫描电子显微镜、透射电子显微镜、拉曼光谱仪和X射线...
  • 作者: 张国全 戴业良 李亚娜 罗毅诚
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  109-112
    摘要: 分别采用紫外辐照和硅烷偶联剂(KH550)对聚酯(PET)/SiOx膜的SiOx镀层进行表面改性以制备PET/SiOx/壳聚糖-纳米ZnO复合膜.水接触角测试发现,相比于紫外辐照,KH550...
  • 作者: 付学成 刘民 权雪玲 王凤丹 王英
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  113-116
    摘要: 采用钨坩埚进行电子束蒸镀金膜是微电子工艺制备电极常用工艺之一,然而在使用钨坩埚蒸发金时会有微小的黑色颗粒出现在金膜的表面,对微纳尺寸下金电极或引线的性能具有严重的影响.研究发现调整蒸镀功率和...
  • 作者: 陈礼炜 高松华 高立华
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  117-120
    摘要: 采用射频磁控溅射方法,常温条件下以N2作为N掺杂源,在玻璃基底制备了N掺杂Al∶ZnO薄膜.在真空氛围下对样品进行了不同温度的退火处理15 min.通过X射线衍射、霍尔效应测试、紫外-可见光...
  • 作者: 余金中 吴次南 张兆浩 张青竹 曹志军 李俊杰 李志华 殷华湘 王桂磊 闫江
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  121-126
    摘要: 针对5 nm CMOS技术代亟待解决的纳米线释放难题,通过实验探究了HF(6%)∶H2O2(30%)∶CH3COOH(99.8%)=1∶2∶3的混合溶液放置时间对纳米尺度外延堆叠GeSi/S...
  • 作者: 文东辉 杨兴 章城 郑天祥
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  127-131
    摘要: 石墨具有固态超滑和耐酸、耐碱和耐有机溶剂腐蚀等特性,使其有望成为微机电系统(MEMS)基础材料的一种选择.如能通过微纳米加工工艺对石墨进行微加工并在石墨上大批量、稳定、可控地制备各种掩模图案...
  • 作者: 杨尊先 艾经伟 郭太良
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  132-139
    摘要: 以钼粉、过氧化氢(30%)、苹果酸、硫脲为原料,通过连续的水热法-热分解碳包覆,制备出了分级结构的C@MoS2@C纳米带,并通过X射线衍射、扫描透射及电化学性能表征方法对该纳米复合材料的形貌...
  • 作者: 冯琦 刘洪亮 张久兴 张忻 肖怡新 赵吉平
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  140-143
    摘要: 单晶LaB6尖锥有望成为理想的场致电子发射阴极,采用三维粒子模拟软件Computer Simulation Technology (CST)对尖锥曲率半径在0.1 ~10 μm范围内的系列单...
  • 作者: 刘燕文 方有为 朱虹 王小霞 田宏 石文奇 谷兵 陆玉新
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  144-149
    摘要: 微波真空电子器件广泛应用于卫星通信及未来军事前沿的高功率微波武器等方面,这些器件需要电流发射稳定、蒸发小、寿命长的浸渍阴极,阴极性能好坏将直接影响微波器件的寿命及输出性能,这对浸渍阴极钨海绵...
  • 作者: 于博 余水淋 康小录 黄浩
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  150-156
    摘要: 霍尔推力器的热设计对磁场性能有显著影响.为研究推力器的热优化方法,对典型霍尔推力器进行热分布计算.采用热传导与热辐射耦合的计算方法,以辐射传递系数替代角系数,来表征微元表面间的相对位置对热辐...
  • 作者: 刘小军 常建军 李敏 李朋 柴振 罗成 董自强 蒙峻 蔺晓建 谢文君
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  157-162
    摘要: 束流与真空管壁碰撞后从腔体表面解吸出一定数量的分子和离子,解吸出的粒子使加速器系统的真空度下降,进而会影响束流的寿命.在重离子加速器中,为了降低动态真空对束流的影响,需找出一种低解吸率材料作...
  • 作者: 李晓敏 王立军
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  163-167
    摘要: 循环流化床锅炉循环系统温度走向和流通情况对燃烧热利用率产生直接影响.对锅炉循环系统进行流体和热分析.由各高度截面的固相体积比,得到固相在炉膛内从下至上的递减规律.对速度分布云图和迹线图进行分...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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