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光学精密工程
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《光学 精密工程》学报简介
《光学 精密工程》（Optics and Precision Engineering）是中国科学院主管，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、中国仪器仪表学会、中国微米纳米技术学会共同主办的国际性学术期刊。本刊于1959年创刊《光学机械》，1966年停刊，1975年复刊，1993年更名为《光学 精密工程》。现为16开本，双月刊，科学出版社出版，国内...
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主办单位：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国仪器仪表学会
期刊荣誉：
EI核心期刊
中文核心期刊
ISSN：
1004-924X
CN：
22-1198/TH
出版周期：
月刊
邮编：
130033
地址：
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刊名： 光学精密工程发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 对一种梳状静电致动微夹持器的特性进行了测试.采用显微镜-CCD-微机测试方案,微夹持器的状态信息通过数据采集及图像处理获取,得到"电压-位移"特性曲线并建立了数学方程.对特性方程的分析表明理...
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刊名： 光学精密工程发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 纳米结构制作是纳米技术的重要组成部分,原子光刻技术是纳米图形制作的一项新方法.对直流高压放电产生的亚稳态氩原子束进行准直减小其发散角,亚稳态原子在与之传播方向垂直的激光驻波场中发生淬火并沉积...
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刊名： 光学精密工程发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 管径φ10～20 mm的细小管道在工业中应用十分广泛,因此迫切需要研究一种管道检测机器人进入管道内部, 对其缺陷进行检测或维修.为此目的,近年来发展了不同类型的微型机器人,例如:气囊蠕动型、...
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刊名： 光学精密工程发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 使用多普勒理论分析了一种典型的具有纳米级位移分辨率的双光栅测量系统.在以往的文献中,只是简单的列出光栅系统的位移测量公式,对系统的工作原理分析避而不谈.文中首先给出了系统的光路结构,分析了光...
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刊名： 光学精密工程发表期刊： 2003年1期页码:摘要：
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刊名： 光学精密工程发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 微机电系统(MEMS)器件及系统仿真正日益受到MEMS研究者的重视.其仿真内容涉及力学、电子学、热学、光学、流体学等许多学科.MEMS和其他微系统可看作为一个多域物理系统.本文从方法学观点讨...
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7. 微机电系统测试技术及方法刊名： 光学精密工程发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 微机电系统(MEMS)测试技术及方法是MEMS设计、仿真、制造及质量控制和评价的关键环节之一,本文对MEMS测试技术及方法所涉及的微机械量、微几何量、微材料特性以及系统综合参数与性能的测试技...
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刊名： 光学精密工程发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 建立了微型振动式发电机的核心部件振子的结构模型.利用有限元的方法对振子进行了动力学分析及计算,并应用ANSYS有限元分析软件,对振子进行了计算机模拟分析,得出了敏感元的厚度、宽度对振子固有频...
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9. X射线超反射镜设计刊名： 光学精密工程发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 阐述了一种新的X射线超反射镜的设计方法,它是基于经验理论公式的解析设计方法和基于计算机的数值优化设计方法相结合的产物.利用前者提供比较好的初始膜系,再利用后者对该初始膜系进行优化处理,从而获...
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刊名： 光学精密工程发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 当前空间相机的光学系统的要求是:在多光谱范围内,系统要有高分辨率、大视场、小体积、质量轻且像面为平像场,TMA(Three mirror anastigmat)可以满足上述要求.为此给出了这...
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11. 用微波方法测量导电薄膜刊名： 光学精密工程发表期刊： 2003年1期页码:摘要：
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12. Mo/Si多层膜残余应力的研究刊名： 光学精密工程发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 在极紫外光刻技术中,光学系统对多层膜光学元件表面面形精度有严格的要求,并且多层膜光学元件需要较高的反射率.由于多层膜中存在的内应力将改变光学元件的表面面形,因此在不减少反射率的前提下,一定要...
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刊名： 光学精密工程发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 提出了一个用于描述脉冲在半导体光放大器(SOA)中传播的模型,此模型主要考虑了半导体光放大器内载流子加热(CH)、光谱烧孔(SHB)、双光子吸收(TPA)和非线性折射率(NR)这些非线性效应...
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刊名： 光学精密工程发表期刊： 2003年1期页码:摘要： "Nanosys-300非球面曲面超精密复合加工系统"是 "九五"重点预研课题-"非球面曲面的超精密加工与测量技术"的主要研究成果.重点对非球面曲面光学零件超精密加工机床,非球面曲面光学零件...
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15. 数控抛光加工应用于波前畸变校正刊名： 光学精密工程发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 高功率固体激光装置的波前校正通常采用自适应光学或衍射光学的方法,但这些方法的应用都有一定的困难.小磨头数控抛光加工技术已逐渐得到广泛的应用,用它来实现大口径高功率固体激光装置的静态波前畸变校...
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16. 航空光电侦察平台关键技术及其发展刊名： 光学精密工程发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 介绍了国内外航空光电侦察平台的技术发展概况,并针对航空光电侦察平台的关键技术问题进行了全面分析与研究.单元优化与系统集成技术:光电侦察平台框架数目的选择、平台框架结构形式的选材、有效载荷的配...
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17. 弹性铰链研究刊名： 光学精密工程发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 弹性铰链是一种在精密机械中广泛应用的新型铰链形式.本文概括了常用的弹性铰链类型,总结了各种切口形状弹性铰链的特点,对单轴双圆弧和单轴单圆弧的弹性铰链作了比较,最后介绍了弹性铰链的加工及应用情...
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刊名： 光学精密工程发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 在伺服系统中,对以摩擦力矩为主的低速非线性补偿,通常采用两大类方法, 一类是基于摩擦力矩模型的补偿, 另一类是不基于摩擦模型补偿.针对伺服系统中低速非线性干扰,本文给出了两种控制策略来抑制伺...
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刊名： 光学精密工程发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 本文详细地讨论了外差干涉仪的两个主要问题,即干涉仪的横向定位问题和非线性误差分析及其误差补偿问题.首先,提出了一种新颖的解析方法实现干涉仪亚微米级的高精度定位.该方法首先建立了测量光束扫过台...
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20. 一种新型光学编码器刊名： 光学精密工程发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 光学编码器是长度和角度测量最常用的传感器,两种传统光学编码器:绝对式和增量式光学编码器的光学图案、位置编码原理和信号处理电路各具特色,随着科学技术的发展,一种新型光学编码器方案:准绝对式编码...
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刊名： 光学精密工程发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 介绍了一种基于体硅工艺的大尺寸、大深宽比梳状静电致动微夹持器的制作工艺.对微夹持器制作中的关键工艺进行分析,重点分析ICP蚀刻工艺的蚀刻时间对结构的影响,总结导致器件失效的原因,探讨了减少失...
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22. 钝化多晶线路中电迁移损伤的预测刊名： 光学精密工程发表期刊： 2003年2期页码:摘要：
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23. 电磁型平面微电机及其制作工艺刊名： 光学精密工程发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 为得到一种尺寸小、输出力矩大、转速高的直流可调速微电机,提出了一种利用微机械加工工艺制作微电机的方法.定子和转子都做成平面结构,定子线圈采用了平面型、无槽式集中绕组;线圈之间采用了三相星形连...
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刊名： 光学精密工程发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 目前原子力显微镜(AFM)已经成为纳米加工领域中一种重要的加工手段,但由于其自身扫描陶管及针尖等因素的影响,AFM的微加工能力在很大程度上受到限制.利用三维微动工作台结合原子力显微镜以及锋利...
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25. 低电压集成电泳芯片的研制刊名： 光学精密工程发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 电泳芯片是一种重要的微型分析仪器.针对目前电泳芯片分离电压高、难以实现真正的一体化集成等问题,利用在分离通道上分段、交替、循环施加电压的方法提出了电泳芯片低电压分离的模型.依据该模型对这种低...
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刊名： 光学精密工程发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 针对影响多层膜性能的关键因素--膜厚控制误差进行了全面的分析计算,指出影响多层膜性能的主要误差是仪器本身的系统偏差,它使多层膜的峰值反射波长偏离设计值,使得制作出的多层膜无法满足要求;镀膜过...
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27. 光学脆性材料的金刚石切削加工刊名： 光学精密工程发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 重点对脆性材料的超精密研磨、抛光加工技术及超精密磨削加工技术和超精密切削加工技术进行了分析研究.分析表明,硬脆材料光学元件主要应进行超精密研磨、抛光及超精密磨削加工;软脆材料光学元件主要应进...
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刊名： 光学精密工程发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 介绍计算机辅助装调方法在离轴照明EUVL光学系统中的应用,阐述了一种基于奇异值分解(SVD)的牛顿迭代法来求解失调量.利用该方法对敏感矩阵进行分解,从中分析得到影响不同像差的结构参数的敏感性...
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29. 空间太阳望远镜镜筒桁架的优化刊名： 光学精密工程发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 空间望远镜的镜筒桁架结构优化以构件总质量等于常数为约束条件,以横向摆振频率最高为优化目标.优化分两步进行:首先以瑞雷方法和简化模型为基础,在较大范围内对可能的模型进行筛选,得出桁架分层数和每...
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刊名： 光学精密工程发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 介绍了二元光学超光谱成像仪的基本原理.提出利用折衍混合透镜代替单一的二元光学透镜来实现色散和成像用于超光谱成像仪,论述了此透镜系统的设计方法,给出了理论设计公式.通过光学设计软件ZEMAX对...
光学精密工程基本信息
| 刊名 | 光学精密工程 | 主编 | 曹健林 |
| 曾用名 | 光学机械 | ||
| 主办单位 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国仪器仪表学会 | 主管单位 | 中国科学院 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1004-924X | CN | 22-1198/TH |
| 邮编 | 130033 | 电子邮箱 | gxjmgc@ciomp.ac.cn ；gxjmgc@sina.com |
| 电话 | 0431-86176855 | 网址 | www.eope.net |
| 地址 | 长春市东南湖大路3888号 |
光学精密工程评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 化学文摘(美) |
| 2. | 中国科学引文数据库 |
| 3. | 工程索引(美) |
| 4. | 日本科学技术振兴机构数据库(日) |
| 5. | 文摘杂志(俄) |
| 6. | 科学文摘(英) |
| 7. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | EI核心期刊 |
| 2. | 中文核心期刊 |
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