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采用静态膨胀法校准标准漏孔极小漏率的不确定度评定
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摘要：
采用静态膨胀法校准10-10 Pa· m3/s量级的真空标准漏孔，通过对校准结果的不确定度评定，发现被校漏率产生的离子流上升率是不确定度的主要来源。与高纯气体三级膨胀的测量不确定度分量相比较，采用混合气体二级膨胀的校准方式，能够减小膨胀过程对校准结果的影响，在简化了校准过程的同时，也提高了校准效率。
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期刊影响力
真空与低温
主办单位：
中国航天科技集团公司第五研究院510研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
1006-7086
CN：
62-1125/O4
开本：
大16开
出版地：
甘肃省兰州市94信箱
邮发代号：
创刊时间：
1981
语种：
chi
出版文献量（篇）
1321
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