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摘要:
比较法校准真空标准漏孔是通过四极质谱计比较气体流量计提供的标准气体流量与被校真空标准漏孔产生的离子流获得校准值。主要介绍了比较法真空标准漏孔的校准方法、装置原理、校准过程及校准结果的处理等,并提出了减小测量不确定度的影响因素。
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计量学
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频响曲线
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 比较法真空标准漏孔校准方法研究
来源期刊 真空与低温 学科 工学
关键词 比较法 真空标准漏孔 校准方法
年,卷(期) 2013,(4) 所属期刊栏目 研 究 报 告
研究方向 页码范围 228-232
页数 5页 分类号 TB771
字数 2895字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1006-7086.2013.04.008
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研究主题发展历程
节点文献
比较法
真空标准漏孔
校准方法
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空与低温
双月刊
1006-7086
62-1125/O4
大16开
甘肃省兰州市94信箱
1981
chi
出版文献量(篇)
1321
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1
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6360
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