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Annealing Effects on the Optical and Structural Properties of DLC Films
Annealing Effects on the Optical and Structural Properties of DLC Films
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摘要：
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文献信息
| 篇名 | Annealing Effects on the Optical and Structural Properties of DLC Films | ||
| 来源期刊 | 材料科学与工程：中英文B版 | 学科 | 物理学 |
| 关键词 | DLC薄膜 等离子体增强化学气相沉积 退火 结构特性 光学 玻璃基板 PECVD FT-IR | ||
| 年，卷（期） | 2012,（4） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 295-299 | |
| 页数 | 5页 | 分类号 | O484 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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DLC薄膜
等离子体增强化学气相沉积
退火
结构特性
光学
玻璃基板
PECVD
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期刊影响力
材料科学与工程：中英文B版
主办单位：
美国大卫出版公司
出版周期：
双月刊
ISSN：
2161-6221
CN：
开本：
出版地：
武汉洪山区卓刀泉北路金桥花园C座4楼
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
570
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