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固定流导法真空漏孔校准装置性能研究
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摘要：
固定流导法是通过已知流导小孔的气体与真空漏孔流出的气体用四极质谱计进行比较,从而得到漏孔漏率的一种极为精确的方法[1].小孔是采用机械、激光等方法加工制成,在分子流条件下,小孔流导为一常数.运用此方法,建立了一套真空检漏校准装置以进行量值传递工作.为了保证校准数据的准确可靠性,需对该套装置的不确定度进行分析与评定.
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研究主题发展历程
节点文献
固定流导法
真空漏孔校准
不确定度分析
稳定性
重复性
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
真空与低温
主办单位：
中国航天科技集团公司第五研究院510研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
1006-7086
CN：
62-1125/O4
开本：
大16开
出版地：
甘肃省兰州市94信箱
邮发代号：
创刊时间：
1981
语种：
chi
出版文献量（篇）
1321
总下载数（次）
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6360
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