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摘要:
固定流导法采用的是分压力测量技术,对质谱分析室的漏放气率的指标要求不高.通过实验得到四极质谱计的非线性引起的测量误差可达38%,在具体校准过程中能够很好调节稳压室中的气体压力,使通过小孔的气体流量与待校真空漏孔漏率非常接近,从而避免了四极质谱计的非线性影响.稳压室中的气体压力比较大,所以稳压室不需要特别严格的材料处理工艺,具体校准过程中也不需要彻底的烘烤出气就能得到纯净的单一气体.固定流导法校准真空漏孔的不确定度的评定值为2.6%,可以通过精确校准电容薄膜规和控制温度来进一步降低漏孔校准的不确定度.
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文献信息
篇名 固定流导法校准真空漏孔方法研究
来源期刊 真空与低温 学科 工学
关键词 固定流导法 真空漏孔校准 不确定度分析
年,卷(期) 2005,(4) 所属期刊栏目 研究报告
研究方向 页码范围 197-204
页数 8页 分类号 TB771
字数 4320字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1006-7086.2005.04.003
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 李得天 63 622 15.0 20.0
2 郭美如 28 208 8.0 12.0
3 冯焱 51 463 12.0 17.0
4 葛敏 2 34 2.0 2.0
5 张周焕 3 34 2.0 3.0
6 王占忠 2 34 2.0 2.0
7 刘波 9 53 3.0 7.0
8 杨新民 2 34 2.0 2.0
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研究主题发展历程
节点文献
固定流导法
真空漏孔校准
不确定度分析
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空与低温
双月刊
1006-7086
62-1125/O4
大16开
甘肃省兰州市94信箱
1981
chi
出版文献量(篇)
1321
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1
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6360
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