论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
- 学术期刊 \
- 基础科学期刊 \
- 物理学期刊 \
- 激光与光电子学进展期刊 \
步进扫描投影光刻机工件台和掩模台的进展
步进扫描投影光刻机工件台和掩模台的进展
基本信息来源于合作网站，原文需代理用户跳转至来源网站获取
摘要：
着重介绍了当前国外步进扫描投影光刻机的工件台和掩模台的发展状况,并对套刻精度和整机精度进行了分析.
推荐文章
光刻机工件台定位平台结构设计
光刻机
定位台
三轴联动
基于迭代学习的掩模台与工件台同步控制
同步偏差
迭代学习控制
主从控制
掩模台
工件台
刀口半影最小化的光刻机扫描狭缝研究
光学光刻
步进扫描
扫描狭缝
同步
刀口半影
步进扫描式光刻机隔振试验平台主动减振系统试验研究
振动与波
步进扫描式光刻机
主动减振
试验研究
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献 (0)
共引文献 (0)
参考文献 (2)
节点文献
引证文献 (72)
同被引文献 (51)
二级引证文献 (193)
1996(1)
- 参考文献（1）
- 二级参考文献（0）
1998(1)
- 参考文献（1）
- 二级参考文献（0）
2003(0)
- 参考文献(0)
- 二级参考文献(0)
- 引证文献(0)
- 二级引证文献(0)
2004(1)
- 引证文献（1）
- 二级引证文献（0）
2005(6)
- 引证文献（3）
- 二级引证文献（3）
2006(2)
- 引证文献（2）
- 二级引证文献（0）
2007(12)
- 引证文献（10）
- 二级引证文献（2）
2008(10)
- 引证文献（5）
- 二级引证文献（5）
2009(10)
- 引证文献（2）
- 二级引证文献（8）
2010(15)
- 引证文献（2）
- 二级引证文献（13）
2011(15)
- 引证文献（5）
- 二级引证文献（10）
2012(15)
- 引证文献（7）
- 二级引证文献（8）
2013(34)
- 引证文献（8）
- 二级引证文献（26）
2014(40)
- 引证文献（6）
- 二级引证文献（34）
2015(33)
- 引证文献（6）
- 二级引证文献（27）
2016(23)
- 引证文献（4）
- 二级引证文献（19）
2017(26)
- 引证文献（5）
- 二级引证文献（21）
2018(15)
- 引证文献（4）
- 二级引证文献（11）
2019(8)
- 引证文献（2）
- 二级引证文献（6）
研究主题发展历程
节点文献
步进扫描投影光刻机
工件台
掩模台
套刻精度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
激光与光电子学进展
主办单位：
中国科学院上海光学精密机械研究所
出版周期：
半月刊
ISSN：
1006-4125
CN：
31-1690/TN
开本：
大16开
出版地：
上海市嘉定区清河路390号（上海市800-211信箱）
邮发代号：
4-179
创刊时间：
1964
语种：
chi
出版文献量（篇）
9127
总下载数（次）
28
总被引数（次）
35767
期刊文献
相关文献
推荐文献
- 期刊分类
- 期刊（年）
- 期刊（期）
- 期刊推荐
力学
化学
地球物理学
地质学
基础科学综合
大学学报
天文学
天文学、地球科学
数学
气象学
海洋学
物理学
生物学
生物科学
自然地理学和测绘学
自然科学总论
自然科学理论与方法
资源科学
非线性科学与系统科学
激光与光电子学进展2022
激光与光电子学进展2021
激光与光电子学进展2020
激光与光电子学进展2019
激光与光电子学进展2018
激光与光电子学进展2017
激光与光电子学进展2016
激光与光电子学进展2015
激光与光电子学进展2014
激光与光电子学进展2013
激光与光电子学进展2012
激光与光电子学进展2011
激光与光电子学进展2010
激光与光电子学进展2009
激光与光电子学进展2008
激光与光电子学进展2007
激光与光电子学进展2006
激光与光电子学进展2005
激光与光电子学进展2004
激光与光电子学进展2003
激光与光电子学进展2002
激光与光电子学进展2001
激光与光电子学进展2000
激光与光电子学进展2003年第9期
激光与光电子学进展2003年第8期
激光与光电子学进展2003年第7期
激光与光电子学进展2003年第6期
激光与光电子学进展2003年第5期
激光与光电子学进展2003年第4期
激光与光电子学进展2003年第3期
激光与光电子学进展2003年第2期
激光与光电子学进展2003年第12期
激光与光电子学进展2003年第11期
激光与光电子学进展2003年第10期
激光与光电子学进展2003年第1期
