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超光滑表面抛光技术

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抛光
超光滑表面
机理
评价
摘要：
超光滑表面抛光技术是超精密加工体系的一个重要组成部分,超光滑表面在国防和民用等领域都有着广泛的应用.文中介绍了超光滑表面的物理特征和应用,并根据抛光过程中工件与抛光盘之间的接触状态,将各种抛光方法分为直接接触、准接触和非接触3类,对每一种抛光方法作了总体的描述,详细地介绍了近年来发展的激光抛光技术和化学机械抛光技术及其超光滑表面抛光的加工机理,介绍了超光滑表面的测量和评价方法.
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超光滑表面
超精密抛光
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平面度
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 超光滑表面抛光技术
来源期刊 江苏大学学报(自然科学版) 学科 工学
关键词 抛光 超光滑表面 机理 评价
年，卷（期） 2003,（5） 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 55-59
页数 5页 分类号 TG356.28
字数 5782字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1671-7775.2003.05.014
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 陈志刚 90 1299 21.0 30.0
2 陈杨 江苏大学材料科学与工程学院 10 230 8.0 10.0
3 陈建清 江苏大学材料科学与工程学院 6 160 4.0 6.0
传播情况
被引次数趋势
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引文网络
引文网络
二级参考文献  (49)
共引文献  (30)
参考文献  (15)
节点文献
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同被引文献  (73)
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研究主题发展历程
节点文献
抛光
超光滑表面
机理
评价
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
江苏大学学报(自然科学版)
双月刊
1671-7775
32-1668/N
大16开
江苏省镇江市梦溪园巷30号
28-83
1980
chi
出版文献量（篇）
2980
总下载数（次）
2
总被引数（次）
31026
相关基金
江苏省自然科学基金
英文译名：Natural Science Foundation of Jiangsu Province
官方网址：http://www.jsnsf.gov.cn/News.aspx?a=37
项目类型：
学科类型：
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江苏大学学报(自然科学版)2003年第6期 江苏大学学报(自然科学版)2003年第5期 江苏大学学报(自然科学版)2003年第4期 江苏大学学报(自然科学版)2003年第3期 江苏大学学报(自然科学版)2003年第2期 江苏大学学报(自然科学版)2003年第1期
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