手套箱及使用此手套箱之薄膜沉积设备

摘要:
本发明提供一种手套箱,用于安装至少一手套,手套箱包括箱体、盖板以及连接组件。箱体具有开口。盖板上形成有至少一手套安装孔,对应于该至少一手套,且该至少一手套安装于该至少一手套安装孔。连接组件连接箱体与盖板,盖板适于藉由连接组件而相对于箱体移动以覆盖箱体的开口或离开开口。本发明之手套箱的盖板藉由连接组件可相对于箱体移动,由于不需要藉由螺栓来锁固,所以可省去拆卸或锁固螺栓的时间,以便于进行维修等操作。由此,能够节省时间和人力,有助于提升本发明之薄膜沉积设备的操作便利性。
基本信息
专利类型 发明
申请(专利)号 CN201210084307.5 申请日 2012-03-28
授权公布号 CN103358326A 授权公告日 2013-10-23
申请人 绿种子科技(潍坊)有限公司 
地址 山东省潍坊市玉清东街13159号801室
发明人 刘念慈 游大纬 于伯渊 
分类号 B25J21/02(2006.01) C23C16/44(2006.01)  主分类号 B25J21/02(2006.01)
国省代码 山东 页数 12
代理机构 上海波拓知识产权代理有限公司
代理人 杨波 
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2015.11.25 发明专利申请公布后的视为撤回 发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):B25J 21/02申请公布日:20131023
2013.11.20 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):B25J 21/02申请日:20120328
2013.10.23 公开 公开
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