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降低随机良率缺陷的方法及系统

降低随机良率缺陷的方法及系统

发明人：

仝仰山

申请人：

新思科技有限公司

摘要：

本发明涉及一种降低随机良率缺陷的方法与装置。半导体制程中意外掉落的微粒子容易造成电路布局中局部线路的开路或短路，本发明降低随机良率缺陷的方法是用于更正后绕线布局中的很可能产生开路或短路的线路。将该待更正线路中每一个的开路及短路的临界面积分别乘以权重并累加，且同时进行线路扩展及线路加宽的不同调整而使得该累加值改变，从而得到这些线路的线路扩展及线路加宽的最佳化更正。

基本信息

专利类型	发明
申请(专利)号	CN200910209633.2	申请日	2009-10-30
授权公布号	CN102054067A	授权公告日	2011-05-11
申请人	新思科技有限公司
地址	美国加利福尼亚州
发明人	仝仰山
分类号	G06F17/50(2006.01) H01L27/00(2006.01)	主分类号	G06F17/50(2006.01)
国省代码	美国	页数	11
代理机构	北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人	刘国伟

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015.05.27	授权	授权
2012.11.28	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G06F 17/50申请日:20091030
2011.05.11	公开	公开

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